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黃光輔助材料 底部抗反射涂層 光刻膠
飛凱材料DUV底部抗反射層材料，搭配合適厚度可以將Al、Cu、W、GaAs等襯底反射率降低到1%以下；具有良好的填隙能力以拓展工藝窗口，分別適用于各類KrF光刻制程。
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滬(寶)應(yīng)急管危經(jīng)許[2023]201130
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